(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222173008.0 (22)申请日 2022.08.18 (73)专利权人 宁波芯丰精密科技有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余 姚市经济开 发区城东 新区冶山路 (72)发明人 万先进　单保淋　李文超　边逸军　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 袁微微 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B28D 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种清洗装置及晶圆减薄 设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种清洗装置及晶圆减 薄设备， 属于晶圆制造技术领域。 清洗装置包括 箱体、 设于箱 体上的第一清洗机构和第二清洗机 构， 第一清洗机构和第二清洗机构分别位于箱体 的第一端和第二端， 且二者均能够在箱体上沿第 一方向移动； 清洗装置还包括： 第一罩体， 设于箱 体的第一端与第一清洗机构之间； 第二罩体， 设 于箱体的第二端与第二清洗机构之间； 第三罩 体， 设于第一清洗机构和第二清洗机构之间。 晶 圆减薄设备包括上述的清洗装置。 本实用新型通 过第一罩体、 第二罩体和第三罩体的设置对箱体 进行充分罩设， 避免飞屑或者水雾进入箱体内 部， 对清洗机构 的相关机械电气部件进行保护， 保证清洗装置清洗功能的顺利实现。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 218039115 U 2022.12.13 CN 218039115 U 1.一种清洗装置， 其特征在于， 包括箱体(10)、 设于所述箱体(10)上的第一清洗机构 (20)和第二清洗机构(30)， 所述箱体(10)具有沿第一方向的第一端和第二端， 所述第一清 洗机构(20)和所述第二清洗机构(30)分别位于所述箱体(10)的所述第一端和所述第二端， 且二者均能够 在所述箱体(10)上沿所述第一方向移动； 所述清洗装置还 包括： 第一罩体(40)， 所述第一罩体(40)设于所述箱体(10)的所述第一端与所述第一清洗机 构(20)之间； 第二罩体(50)， 所述第二罩体(50)设于所述箱体(10)的第二端与所述第二清洗机构 (30)之间； 第三罩体(60)， 所述第三罩体(60)设于所述第一清洗机构(20)和所述第二清洗机构 (30)之间。 2.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第一罩体(40)、 所述第二罩体 (50)及所述第三罩体(60)的结构相同， 均包括双向卷簧(41)、 第一遮盖体(42)和第二遮盖 体(43)； 所述双向卷簧(41)包括中间轴(411)、 上行卷簧(412)和下行卷簧(413)， 所述上行卷簧 (412)和所述下行卷簧(413)叠设后， 一端均卷接在所述中间轴(411)上， 另一端位于外侧的 上行卷簧(412)在上方伸出， 位于内侧的下行卷簧(413)在下方伸出， 所述上行卷簧(412)和 所述下行卷簧(413)的伸出 方向相背； 所述第一遮盖体(42)设于所述上行卷簧(412)上， 所述第二遮盖体(43)设于所述下行 卷簧(413)上。 3.根据权利要求2所述的清洗装置， 其特征在于， 所述上行卷簧(412)和所述下行卷簧 (413)的伸出 方向均与所述第一方向平行。 4.根据权利要求2所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第 一罩体(40)的所述第一遮盖体 (42)和所述第二遮盖体(43)二者中的一个与所述箱体(10)的所述第一端相连， 另一个与所 述第一清洗 机构(20)相连； 所述第二罩体(50)的所述第一遮盖体(42)和所述第二遮盖体(43)二者中的一个与所 述箱体(10)的所述第二端相连， 另一个与所述第二清洗 机构(30)相连； 所述第三罩体(60)的所述第一遮盖体(42)和所述第二遮盖体(43)二者中的一个与所 述第一清洗 机构(20)相连， 另一个与所述第二清洗 机构(30)相连。 5.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第 一清洗机构(20)包括第一工作 台(21)和设于所述第一工作台(21)上的第一清洗件(22)， 所述第一清洗件(22)包括第一 驱 动件(221)、 设于所述第一驱动件(221)输出端的油石磨轮(222)、 第二驱动件(223)和设于 所述第二驱动件(2 23)输出端的第一刷体(2 24)； 所述第一 罩体(40)连接 于所述箱体(10)与所述第一工作台(21)之间。 6.根据权利要求5所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第 二清洗机构(30)包括第二工作 台(31)和设于所述第二工作台(31)上的第二清洗件(32)， 所述第二清洗件(32)包括第三 驱 动件(321)和设于所述第三驱动件(321)输出端的第二刷体(32 2)； 所述第二罩体(50)连接于所述箱体(10)与所述第二工作台(31 )之间； 所述第三罩体 (60)连接于所述第一工作台(21)与所述第二工作台(31)之间。 7.根据权利 要求6所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第一驱动件(221)、 所述第二驱动权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218039115 U 2件(223)和所述第三驱动件(321)均用于 输出转矩。 8.一种晶圆减薄设备， 包括机台(500)和在所述机台(500)上沿第二方向依次设置的晶 圆盒(200)、 上下料装置(300)和减薄装置(400)， 所述上下料装置(300)用于将所述晶圆盒 (200)中的晶圆上料至所述减薄装置(400)或由所述减薄装置(400)将减薄完成的晶圆下料 至所述晶圆盒(200)内； 所述减薄装置(400)包括回转工作台(401)和设于所述回转工作台 (401)上的卡盘工作台(402)， 晶圆置于所述卡盘工作台(402)上； 其特征在于， 所述晶圆减 薄设备还包括权利要求1 ‑7任一项所述的清洗装置， 所述清洗装置用于对所述卡盘工作台 (402)及所述 卡盘工作台(402)上的 晶圆进行清洗 。 9.根据权利要求8所述的晶圆减薄设备， 其特征在于， 所述晶圆减薄设备还包括机架 (600)， 所述机架(600)设于所述上下料装置(300)与所述减薄装置(400)之间， 所述清洗装 置设于所述机架(6 00)上， 且位于所述回转工作台(401)上 方。 10.根据权利要求9所述的晶圆减薄设备， 其特征在于， 所述第一方向与所述第二方向 相垂直。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218039115 U 3