(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222741583.6 (22)申请日 2022.10.18 (73)专利权人 合肥卓华智能科技有限公司 地址 230000 安徽省合肥市大别山路优 思 天成高技术创新产业园3号楼B座 4楼 (72)发明人 蔡阳　陶晓军　 (74)专利代理 机构 合肥律众知识产权代理有限 公司 34147 专利代理师 余小映 (51)Int.Cl. G01B 21/30(2006.01) F16M 11/04(2006.01) F16M 11/18(2006.01) B25B 11/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种高精度平面度测量设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种高精度平面度测量 设备， 包括安装平台、 设置在所述安装平台上的 支撑平台、 移动机构和设置在所述移动机构上的 测微计， 所述测微计位于所述支撑平台上方， 所 述支撑平台底部设置有用于调节所述支撑平台 水平度的调平机构。 测微计用于测量待测产品的 水平度， 支撑平台用于对待测产品进行支撑， 移 动机构用于驱动测微计进行移动， 进而实现对待 测产品不通过位点上的平整度测量， 保证测量的 准确性。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218120947 U 2022.12.23 CN 218120947 U 1.一种高精度平面度测量设备， 其特征在于： 包括安装平台、 设置在所述安装平台上的 支撑平台、 移动机构和设置在所述移动机构上 的测微计， 所述测 微计位于所述支撑平台上 方， 所述支撑平台底部设置有用于调节所述支撑平台水平度的调平机构； 所述移动机构包括第 一移动组件、 设置在所述第 一移动组件上的第 二移动组件和设置 在所述第二移动组件上 的升降移动组件， 所述测微计固定在所述升降移动组件上， 所述第 一移动组件驱动所述第二移动组件沿X轴 方向运动， 所述第二移动组件驱动升降移动组件 沿Y轴方向移动， 所述升降移动组件驱动所述测微计沿Z轴方向移动。 2.根据权利要求1所述的一种高精度平面度测量设备， 其特征在于： 所述第 一移动组件 包括第一电动滑轨， 所述第二移动组件包括第二电动滑轨， 所述第一电动滑轨和所述第二 电动滑轨通过连接座连接， 所述连接座分别与所述第一电动滑轨的滑块和所述第二电动滑 轨的滑块均固定连接， 且与所述第一电动滑轨和第二电动滑轨的框架均滑动卡接 。 3.根据权利要求2所述的一种高精度平面度测量设备， 其特征在于： 所述升降移动组件 包括第三电动滑轨， 所述第三电动滑轨竖直设置， 所述第二电动滑轨上设置有安装座， 所述 安装座与所述第三电动滑轨的滑块固定连接， 且与所述第三电动滑轨的框架 滑动卡接 。 4.根据权利要求1所述的一种高精度平面度测量设备， 其特征在于： 所述调平机构包括 调平底座、 设置在所述调平底座上 的调平圆盘， 以及穿过所述调平底座且与所述调平 圆盘 连接的调平旋钮组件， 所述支撑平台与所述调平 圆盘固定连接， 所述调平 圆盘底部设置为 弧形， 所述调平圆盘嵌设在所述调平底座上， 转动所述调平旋钮组件时， 所述调平圆盘以所 述调平底座为基础转动。 5.根据权利要求4所述的一种高精度平面度测量设备， 其特征在于： 所述调平旋钮组件 包括与所述调平圆盘固定的第一旋钮和与所述第一旋钮外连接套固定连接的第二旋钮。 6.根据权利要求4所述的一种高精度平面度测量设备， 其特征在于： 所述调平底座底部 设置有移动滑 道。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218120947 U 2一种高精度平面度测量设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及平面度测量技术领域， 更具体地说， 涉及一种高精度平面度测量 设备。 背景技术 [0002]传感器的玻璃金属封装， 通常采用光学玻璃或透镜作为光信号传输接 口， 使用高 品质玻璃或透镜对于顺利和精确传输信号很重要， 在这其中， 玻璃或透镜的平整度要求也 至关重要， 通过测量平整度这样的方法能有效控制及避免产品在生产过程中遇到的一些不 平整问题， 减少损失。 现有的平整度测量设备在使用中测量装置的移动灵活性低， 无法实现 对待测产品多方位高效率的测量， 使得测量效率低。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种高精度平面度测量设备， 用以解决上述背景技术 中存在的技 术问题。 [0004]本实用新型技术方案一种高精度平面度测量设备， 包括安装平台、 设置在所述安 装平台上 的支撑平台、 移动机构和设置在所述移动机构上 的测微计， 所述测 微计位于所述 支撑平台上 方， 所述支撑平台底部设置有用于调节所述支撑平台水平度的调平机构； [0005]所述移动机构包括第一移动组件、 设置在所述第一移动组件上的第二移动组件和 设置在所述第二移动组件上 的升降移动组件， 所述测 微机固定在所述升降移动组件上， 所 述第一移动组件驱动所述第二移动组件沿X轴方向运动， 所述第二移动组件驱动升降移动 组件沿Y轴方向移动， 所述升降移动组件驱动所述测微计沿Z轴方向移动。 [0006]在一个优选地实施例中， 所述第一移动组件包括第一电动滑轨， 所述第二移动组 件包括第二电动滑轨， 所述第一电动滑轨和所述第二电动滑轨通过连接座连接， 所述连接 座分别与所述第一电动滑轨的滑块和所述第二电动滑轨的滑块均固定连接， 且与所述第一 电动滑轨和第二电动滑轨的框架均滑动卡接 。 [0007]在一个优选地实施例中， 所述升降移动组件包括第三电动滑轨， 所述第三电动滑 轨竖直设置， 所述第二电动滑轨上设置有安装座， 所述安装座与所述第三电动滑轨的滑块 固定连接， 且与所述第三电动滑轨的框架 滑动卡接 。 [0008]在一个优选地实施例中， 所述调平机构包括调平底座、 设置在所述调平底座上的 调平圆盘， 以及穿过所述调平底座且与所述调平 圆盘连接的调平旋钮组件， 所述支撑平台 与所述调平 圆盘固定连接， 所述调平 圆盘底部设置为弧形， 所述调平 圆盘嵌设在所述调 频 底座上， 转动所述调平旋钮组件时， 所述调平圆盘以所述调平 底座为基础转动。 [0009]在一个优选地实施例中， 所述调平旋钮组件包括与所述调平圆盘固定的第一旋钮 和与所述第一旋钮外连接套固定连接的第二旋钮。 [0010]在一个优选地实施例中， 所述调平 底座底部设置有移动滑 道。 [0011]本实用新型技 术方案的有益效果是：说　明　书 1/3 页 3 CN 218120947 U 3