(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221330776.6 (22)申请日 2022.05.25 (73)专利权人 荣耀半导体材 料 （嘉善） 有限公司 地址 314112 浙江省嘉兴 市嘉善县惠民街 道鼎阳路1号1号楼B幢 (72)发明人 洪巧水　粘怡达　孟余红　 (74)专利代理 机构 嘉兴启帆专利代理事务所 (普通合伙) 33253 专利代理师 陈宇航 (51)Int.Cl. B65D 25/10(2006.01) B65D 6/16(2006.01) B65D 85/30(2006.01) B65D 81/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种可直接清洗的立式晶圆周转盒 (57)摘要 本实用新型公开一种可直接清洗的立式晶 圆周转盒， 包括第一卡槽部以及第二卡槽部， 第 一卡槽部上相对于第二卡槽部的一侧设置有若 干第一卡槽， 第二卡槽部上相对于第一卡槽部的 一侧设置有若干第二卡槽， 第一卡槽部的外壁上 具有若干第一透水孔， 第二卡槽部的外壁上具有 若干第二透水孔， 第一卡槽部与第二卡槽部的前 后两侧各通过一调节结构伸缩 连接， 通过若干第 一透水孔以及第二透水孔， 可以将周转盒直接放 在清洗池内清洗晶圆片， 增加了周转盒的功能； 此外第一卡槽部与第二卡槽部之间通过调节结 构伸缩连接， 可以任意改变第一卡槽部与第二卡 槽部之间的距离， 用于满足任意尺 寸大小的晶圆 片， 给生产非标准尺寸晶圆的厂家带来了 便利。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 217919100 U 2022.11.29 CN 217919100 U 1.一种可直接清洗的立式晶圆周转盒， 其特征在于， 包括第 一卡槽部以及第 二卡槽部， 所述第一卡槽部与第二卡槽部相对设置， 所述第一卡槽部上相对于第二卡槽部的一侧设置 有若干第一卡槽， 所述第一卡槽的长度由上至下设置， 所述第二卡槽部上相对于第一卡槽 部的一侧设置有若干第二卡槽， 所述第二卡槽的长度由上至下设置， 若干第二卡槽与若干 第一卡槽一一对应设置用于放置晶圆， 所述第一卡槽部的外壁上具有若干与第一卡槽连通 的第一透水孔， 所述第二卡槽部的外壁上具有若干与第二卡槽连通的第二透水孔， 所述第 一卡槽部与第二卡槽部的前后两侧各通过一调节结构伸缩连接， 所述调节结构包括设置与 第一卡槽部侧 壁上的导向套， 所述导向套内设置有在水平方向贯穿导向套的导向孔， 所述 导向孔的截面形状呈矩形， 所述导向孔内匹配滑动设有导向板， 所述导向板的一端固定于 第二卡槽部的侧 壁上， 所述导向套的上表面沿着其长度方向设置有第一条形孔， 所述第一 条形孔与导向孔连通， 所述导向套的下表面沿着其长度方向设置有第二条形孔， 所述第二 条形孔与导向孔连通， 所述第一条形孔与第二条形孔对应设置， 所述导向板的中心设有竖 直方向上 的中轴孔， 所述中轴孔的侧 壁上环绕设有至少一个限位转动槽， 所述中轴孔的上 端连接有第一螺母孔， 所述第一螺母孔的上端穿出导向板， 所述第一螺母孔与第一条形孔 位置相对应， 并且第一螺母孔的内切圆直径大于第一条形孔的宽度， 所述中轴孔的下端连 接有第二螺母孔， 所述第二螺母孔的下端穿出导向板， 所述第二螺母孔与第二条形孔位置 相对应， 并且第二螺母孔的内切圆直径大于第二条形孔的宽度， 所述第一螺母孔与第二螺 母孔的横截面为多边形， 所述中轴孔内转动设有调节轴， 所述调节轴 上固定设有与限位转 动槽相匹配的限位转动环， 所述限位转动环卡入限位转动槽内转动， 所述调节轴的上端依 次穿过第一螺母孔以及第一条形孔后固定连接有第一转动件， 所述调节轴的下端依次穿过 第二螺母孔以及第二条形孔后固定连接有第二转动件， 所述调节轴上设置有分别与第一螺 母孔以及第二螺母孔相对应的第一螺纹部以及第二螺纹部， 所述第一螺纹部与第二螺纹部 的螺纹方向相反， 所述第一螺母孔内匹配设有套设在第一螺纹部的第一螺母， 所述第二螺 母孔内匹配设有 套设在第二螺纹部的第二螺母。 2.如权利要求1所述的可直接清洗的立式晶圆周转盒， 其特征在于， 所述导向板包括对 称设置的第一组装板以及第二组装板， 所述第一组装板与第二组装板相贴构成导向板， 所 述第一组装板与第二组装板可拆卸连接， 所述第一组装板与第二组装板连接的一面上设有 第一圆弧槽， 所述第一圆弧槽的内壁上设有第二圆弧槽， 所述第一圆弧槽的上端设有第一 多边形槽， 所述圆弧槽的下端设有第二多边形槽， 所述第一组装板与第二组装板上 的两个 第一圆弧槽配合构成中轴孔， 两个第二圆弧槽配合构成限位转动槽， 两个第一多边形槽配 合构成第一螺母孔， 两个第二多边形槽配合构成第二螺母孔。 3.如权利要求2所述的可直接清洗的立式晶圆周转盒， 其特征在于， 所述第 一组装板与 第二组装板通过螺钉进行 可拆卸连接 。 4.如权利要求1所述的可直接清洗的立式晶圆周转盒， 其特征在于， 所述第 一卡槽部与 第二卡槽部的上端边沿均朝向外侧延伸形成承靠沿。 5.如权利要求1所述的可直接清洗的立式晶圆周转盒， 其特征在于， 所述第 一螺纹部套 设有第一橡胶垫圈， 所述第一橡胶垫圈位于第一螺母的上方， 所述第二螺纹部套设有第二 橡胶垫圈， 所述第二橡胶垫圈位于第二螺母的下 方。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217919100 U 2一种可直接清洗的立式晶圆周转盒 技术领域 [0001]本实用新型涉及晶圆盒技术领域， 具体涉及到一种可直接清洗的立式晶圆周转 盒。 背景技术 [0002]晶圆的生产过程中， 需要将晶圆装在过程周转盒内， 辗转于各个工序之间， 过程周 转盒的尺寸与晶圆的尺寸相对应， 目前主流尺寸都是以4寸、 6寸、 8寸、 12寸等固定尺寸为 主。 但是随着行业横向发展， 很多企业为了提供更全面的产品种类， 也为了具有兼容性更强 的生产能力， 从而出现了很多非标准规格的晶圆尺 寸比如4.3寸、 5.2 寸、 6.125寸等， 非标准 尺寸会任意变化， 这给现有的硅片厂家在选用过程周转盒时带来了很大麻烦； 并且过程周 转盒往往只起到周转作用， 不具 备其他功能。 发明内容 [0003]为了解决上述现有技术中的不足之处， 本实用新型提出一种可直接清洗的立式晶 圆周转盒。 [0004]为了实现上述 技术效果， 本实用新型采用如下 方案： [0005]一种可直接清洗 的立式晶圆周转盒， 包括第一卡槽部以及第二卡槽部， 所述第一 卡槽部与第二卡槽部相对设置， 所述第一卡槽部上相对于第二卡槽部的一侧设置有若干第 一卡槽， 所述第一卡槽的长度由上至下设置， 所述第二卡槽部上相对于第一卡槽部的一侧 设置有若干第二卡槽， 所述第二卡槽的长度由上至下设置， 若干第二卡槽与若干第一卡槽 一一对应设置用于放置晶圆， 所述第一卡槽部的外壁上具有若干与第一卡槽连通的第一透 水孔， 所述第二卡槽部的外壁上具有若干与第二卡槽连通的第二透水孔， 所述第一卡槽部 与第二卡槽部的前后两侧各通过一调节结构伸缩连接， 所述调节结构包括设置与第一卡槽 部侧壁上的导向套， 所述导向套内设置有在水平方向贯穿导向套的导向孔， 所述导向孔的 截面形状呈矩形， 所述导向孔内匹配滑动设有导向板， 所述导向板的一端固定于第二卡槽 部的侧壁上， 所述导向套的上表面沿着其长度方向设置有第一条形孔， 所述第一条形孔与 导向孔连通， 所述导向套的下表面沿着其长度方向设置有第二条形孔， 所述第二条形孔与 导向孔连通， 所述第一条形孔与第二条形孔对应设置， 所述导向板的中心设有竖直方向上 的中轴孔， 所述中轴孔的侧 壁上环绕设有至少一个限位转动槽， 所述中轴孔的上端连接有 第一螺母孔， 所述第一螺母孔的上端穿出导向板， 所述第一螺母孔与第一条形孔位置相对 应， 并且第一螺母孔的内切圆直径大于第一条形孔的宽度， 所述中轴孔的下端连接有第二 螺母孔， 所述第二螺母孔的下端穿出导向板， 所述第二螺母孔与第二条形孔位置相对应， 并 且第二螺母孔的内切圆直径大于第二条形孔的宽度， 所述第一螺母孔与第二螺母孔的横截 面为多边形， 所述中轴孔内转动设有调节轴， 所述调节轴 上固定设有与限位转动槽相匹配 的限位转动环， 所述限位转动环卡入限位转动槽内转动， 所述调节轴的上端依 次穿过第一 螺母孔以及第一条形孔后固定连接有第一转动件， 所述调节轴的下端依次穿过第二螺母孔说　明　书 1/4 页 3 CN 217919100 U 3