(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221911522.3 (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人 深圳市大族半导体装备 科技有限 公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区福海街 道桥头社区万廷工业区第六栋101 (72)发明人 刘盛　巫礼杰　童灿钊　李迁　 刘航　赵冬冬　刘佳鑫　文洪　 仰瑞　高云峰　 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 清洗装置 (57)摘要 本申请适用于半导体技术领域， 提供一种清 洗装置， 该清洗装置包括摆臂组件、 喷头组件和 第一固定件， 摆臂组件上设置有弧形孔或固定 孔， 喷头组件 上设置有与摆臂组件 上的弧形孔或 固定孔对应的固定孔或弧形孔； 第一固定件包括 杆部和头部， 杆部穿设于弧形孔和固定孔， 头部 抵接于弧形孔的端壁， 以将摆臂组件与喷头组件 连接； 其中， 杆部可在弧形孔内滑动， 摆臂组件用 于带动喷头组件运动。 本申请实施例的杆部在弧 形孔内滑动时， 可带动摆臂组件和喷头组件以弧 形孔的中心线为转动中心进行转动， 使得摆臂组 件与喷头组件之间的角度可以调整， 使得喷头组 件的朝向与待清洗件表面之间的角度达到最佳 角度， 从而提高对 待清洗件的清洗效果。 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 CN 217990189 U 2022.12.09 CN 217990189 U 1.一种清洗装置， 其特 征在于， 所述清洗装置用于清洗待清洗件， 所述清洗装置包括： 摆臂组件， 所述摆臂组件上设置有弧形孔或固定孔； 喷头组件， 所述喷头组件上设置有与所述摆臂 组件上的所述弧形孔或所述固定孔对应 的固定孔或弧形孔； 第一固定件， 所述第一固定件包括杆部和头部， 所述杆部与所述头部固定连接， 所述杆 部穿设于所述弧形孔和所述固定孔， 所述头部抵接于所述弧形孔的端壁， 以将所述摆臂组 件与所述喷头组件连接； 其中， 所述杆部可在所述弧形孔内滑动， 所述摆臂组件用于带动所述喷头组件运动。 2.如权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述弧形孔设置有多个， 多个所述弧形 孔的中心线重合。 3.如权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述摆臂 组件或所述喷头组件上设置有 与所述弧形孔对应的沉槽， 所述弧形孔设置于所述沉槽内， 所述头部抵接于所述沉槽的底 壁。 4.如权利要求3所述的清洗装置， 其特征在于， 所述沉槽的轮廓形状与 所述弧形孔的轮 廓形状相同， 所述头 部的直径与所述 沉槽的宽度相同。 5.如权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述摆臂 组件或所述喷头组件上设置有 转动孔， 所述喷头组件或所述摆臂组件上设置有与所述摆臂组件或所述喷头组件上的转动 孔对应的转动柱， 所述转动柱可转动地设置于所述转动孔内， 所述转动孔的中心线与所述 弧形孔的中心线重合。 6.如权利要求1所述的清洗装置， 其特 征在于， 所述摆臂组件 包括： 驱动器； 摆臂， 所述摆臂设置于所述驱动器的输出轴， 所述驱动器用于带动所述摆臂在垂直于 所述驱动器的输出轴的轴线的平面内转动； 高度调整块， 所述高度调整块上设置有多个调节孔， 所述调节孔沿同一方向间隔设置， 所述摆臂远离所述驱动器的一端设置有连接件， 所述连接件穿设于所述调节孔， 以将所述 高度调整块连接 于所述摆臂， 所述弧形孔或所述固定孔设置 于所述高度调整块。 7.如权利要求1所述的清洗装置， 其特 征在于， 所述喷头组件 包括： 固定块， 所述固定块上设置有 多个接口， 所述固定孔或所述弧形孔设置 于所述固定块； 喷头， 所述喷头设置 于所述固定块的端部， 并通过 所述固定块与所述接口连通。 8.如权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述摆臂 组件和所述喷头组件均设置有 多个， 部分所述喷头组件设置于所述待清洗件的正面， 另一部分所述喷头组件设置于所述 待清洗件的背面。 9.如权利要求8所述的清洗装置， 其特征在于， 设置于所述待清洗件背面的所述摆臂 组 件包括： 多个第二固定件； 安装座， 所述安装座上设置有多个腰形孔， 所述腰形孔环绕所述待清洗件的背面间隔 设置； 位置调整块， 所述位置调整块上设置有连接孔， 所述第二固定件穿设于所述腰形孔和 所述连接孔， 以将所述喷头组件连接于所述安装座， 所述弧形孔或所述固定孔设置于所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217990189 U 2位置调整块； 其中， 每个所述腰形孔对应至少一个所述喷头组件。 10.如权利要求1 ‑9任意一项所述的清洗装置， 其特 征在于， 所述清洗装置还 包括： 转动组件； 清洗箱， 所述清洗箱内设置有清洗室； 吸附载台， 所述吸附载台设置于所述清洗室内， 并与所述转动组件的输出轴连接， 以通 过所述转动组件带动所述吸附载台转动， 所述吸附载台用于吸附所述待清洗件。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217990189 U 3