(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222281283.4 (22)申请日 2022.08.29 (73)专利权人 苏州金研光电科技股份有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴江市黎里镇 汾湖大道5 58号 (72)发明人 朱振兴　 (74)专利代理 机构 苏州言思嘉信专利代理事务 所(普通合伙) 32385 专利代理师 安琳 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种具备烘干功能的大 尺寸硅片清洗装置， 包括清洗机本体、 控制面板、 支板和放置篮， 所述清洗机本体的前侧设置有控 制面板， 所述清洗机本体的左右两侧设置有支 架， 所述驱动电机的前侧设置有收卷轮， 所述收 卷轮的一侧设置有导线轮， 所述收卷轮与导线轮 上设置有绳索， 所述绳索的下端设置有挂耳， 所 述挂耳的下方设置有放置 篮， 所述支板的下方设 置有风扇。 本实用新型通过收卷轮与绳索的设 置， 由于绳索固定的系在放置篮上的挂耳上， 而 绳索通过收卷轮进行收放， 所以当需要收放放置 篮时， 通过驱动电机便可控制收卷轮进行转动， 由此能够实现放置篮的上升与下降， 方便操作人 员对于硅片的清洗以及取出， 实现了便于对硅片 取料。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 218049387 U 2022.12.16 CN 218049387 U 1.一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 包括清洗机本体(1)、 控制面板(2)、 支板 (4)和放置篮(10)， 其特征在于： 所述清洗机本体(1)的前侧设置有控制面板(2)， 所述清洗 机本体(1)的左右两侧设置有支架(3)， 所述支架(3)的上方设置有支板(4)， 所述支板(4)的 上方设置有驱动电机(5)， 所述驱动电机(5)的前侧设置有收卷轮(6)， 所述收卷轮(6)的一 侧设置有导线轮(7)， 所述收卷轮(6)与导线轮(7)上设置有绳索(8)， 所述绳索(8)的下端设 置有挂耳(9)， 所述挂耳(9)的下方设置有放置篮( 10)， 所述支板(4)的下方设置有风扇 (12)。 2.根据权利要求1所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 其特征在于： 所述 支架(3)设置有2个， 所述支架(3)呈 “工”字形结构设计而成， 所述支架(3)关于清洗机本体 (1)之间相互中心对称。 3.根据权利要求1所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 其特征在于： 所述 收卷轮(6)设置有2个， 所述收卷轮(6)的一侧设置有导线轮(7)， 所述收卷轮(6)与导线轮 (7)关于支板(4)之间相互中心对称。 4.根据权利要求1所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 其特征在于： 所述 挂耳(9)设置有2个， 所述 挂耳(9)关于放置篮(10)之间相互中心对称。 5.根据权利要求4所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 其特征在于： 所述 放置篮(10)呈镂空结构设计而成， 所述放置篮(10)的长宽高小于清洗机本体(1)的内部长 宽高。 6.根据权利要求5所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 其特征在于： 所述 放置篮(10)的内壁设置有超声波换能器(11)， 所述超声波 换能器(11)设置有2个， 所述超声 波换能器(1 1)关于清洗 机本体(1)之间相互中心对称。 7.根据权利要求1所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 其特征在于： 所述 风扇(12)设置有2个， 所述风扇(12)与支板(4)之间相互垂直， 所述风扇(12)的下方设置有 加热电丝(13)。 8.根据权利要求6所述的一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 其特征在于： 所述 清洗机本体(1)的底部设置有支脚(14)， 所述支脚(14)设置有4个， 所述支脚(14)与清洗机 本体(1)之间相互对称。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218049387 U 2一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及清洗装置技术领域， 具体涉及一种具备烘干功能的大尺寸硅片清 洗装置。 背景技术 [0002]硅片经过切片、 倒角、 研磨、 表面处理、 抛光和外延 等不同工序加工后， 表面已经受 到严重的沾污， 所以需要清洗装置来对硅片表面颗粒、 金属离子以及有机物等污染进行去 除。 [0003]现有的大尺寸硅片清洗装置在使用中不具备烘干功能， 例如申请号为 CN201420870668.7公开的一种硅片清洗装置， 现在的硅片清洗是将硅片放置在清洗的机箱 内部， 这样来回从机箱的内部取出硅片， 使得清洗的效率十分的低， 且便于取出清洗好的硅 片， 同时现有的清洗装置不具备烘干功能， 在 对硅片清洗完之后还需人工将 硅片擦干， 容易 对硅片表面造成二次污染。 [0004]因此， 发明一种具 备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置来 解决上述问题很有必要。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是提供一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置， 以解决技术 中不具备烘干功能的问题， 现在的硅片清洗是将硅片放置在清洗的机箱内部， 这样来回从 机箱的内部取出硅片， 使得清洗的效率十 分的低， 且便于取出清洗好的硅片， 同时现有的清 洗装置不具备烘干功 能， 在对硅片清洗完之后还需人工将硅片擦干， 容易对硅片表面造成 二次污染。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种具备烘干功能的大尺寸 硅片清洗装置， 包括清洗机本体、 控制面板、 支板和放置篮， 所述清洗机本体的前侧设置有 控制面板， 所述清洗机本体的左右两侧设置有支架， 所述支架的上方设置有支板， 所述支板 的上方设置有驱动电机， 所述驱动电机的前侧设置有收卷轮， 所述收卷轮的一侧设置有导 线轮， 所述收卷轮与导线轮上设置有绳索， 所述绳索的下端设置有挂耳， 所述挂耳的下方设 置有放置篮， 所述支板的下 方设置有风扇。 [0007]优选的， 所述支架设置有2个， 所述支架呈 “工”字形结构设计而成， 所述支架关于 清洗机本体之间相互中心对称。 [0008]优选的， 所述收卷轮设置有2个， 所述收卷轮 的一侧设置有导线轮， 所述收卷轮与 导线轮关于支板之间相互中心对称。 [0009]优选的， 所述 挂耳设置有2个， 所述 挂耳关于放置篮 之间相互中心对称。 [0010]优选的， 所述放置篮呈镂空结构设计而成， 所述放置篮的长宽高小于清洗机本体 的内部长宽高。 [0011]优选的， 所述放置篮的内壁设置有超声波换能器， 所述超声波换能器设置有2个， 所述超声 波换能器关于清洗 机本体之间相互中心对称。说　明　书 1/3 页 3 CN 218049387 U 3