ICS13.100 CCSH09 团 体 标 准 T/CCSAS052—2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范 Safetytechnicalspecificationsforpolysiliconproductionbytrichlorosilane reductionmethod 2025-03-03发布 2025-03-03实施 中国化学品安全协会发布 中国标准出版社出版 全国团体标准信息平台 目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 2 ……………………………………………………………………………………………… 4 设计与总图布局 2 ………………………………………………………………………………………… 4.1 基本要求 2 …………………………………………………………………………………………… 4.2 总平面布置 3 ………………………………………………………………………………………… 4.3 工艺及生产装置 3 …………………………………………………………………………………… 4.4 防火、防爆设计与安全疏散 4 ………………………………………………………………………… 4.5 电气设施 5 …………………………………………………………………………………………… 4.6 过程自动控制 5 ……………………………………………………………………………………… 4.7 消防设施 6 …………………………………………………………………………………………… 4.8 通风与排烟 6 ………………………………………………………………………………………… 4.9 危险化学品储存 6 …………………………………………………………………………………… 5 生产过程安全 7 …………………………………………………………………………………………… 5.1 一般要求 7 …………………………………………………………………………………………… 5.2 生产装置开车基本要求 7 …………………………………………………………………………… 5.3 生产装置停车基本要求 8 …………………………………………………………………………… 5.4 三氯氢硅合成 8 ……………………………………………………………………………………… 5.5 氯硅烷分离 9 ………………………………………………………………………………………… 5.6 三氯氢硅还原 10 ……………………………………………………………………………………… 5.7 还原尾气干法回收 11 ………………………………………………………………………………… 5.8 四氯化硅冷氢化 12 …………………………………………………………………………………… 5.9 二氯二氢硅反歧化 12 ………………………………………………………………………………… 5.10 废气淋洗 13 ………………………………………………………………………………………… 附录A(资料性) 多晶硅生产火灾危险性分类 15 ………………………………………………………… 附录B(资料性) 多晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度 16 …………………………… 附录C(资料性) 多晶硅生产过程中的危险、有害因素 18 ……………………………………………… 参考文献 20 …………………………………………………………………………………………………… ⅠT/CCSAS052—2025 全国团体标准信息平台 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国化学品安全协会提出并归口。 本文件起草单位:中国氟硅有机材料工业协会、中国化学品安全协会、四川永祥股份有限公司、江苏 中能硅业科技发展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、合盛硅业股份有限公司、同轨科技成都有 限公司、华陆工程科技有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、四川晨光工程设计院有限公司。 本文件主要起草人:李斌、兰云、杨武明、罗周、王世棋、郑东昊、程长进、韩洪流、王路、李超、朱文刚、 刘继三、贾敏、程渝峰、严大洲、陈宏愿。 ⅢT/CCSAS052—2025 全国团体标准信息平台 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范 1 范围 本文件界定了采用三氯氢硅(TCS)还原法生产多晶硅的术语和定义,规定了企业从设计到生产过 程的安全技术基本要求,包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。 本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。采用其他工艺技术生产多晶硅的 企业可参照执行。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB2894 安全标志及其使用导则 GB5083 生产设备安全卫生设计总则 GB7231 工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识 GB12158 防止静电事故通用导则 GB15577 粉尘防爆安全规程 GB15603 危险化学品仓库储存通则 GB16297 大气污染物综合排放标准 GB/T20801(所有部分) 压力管道规范 工业管道 GB/T30000.31 化学品分类和标签规范 第31部分:化学品作业场所警示性标志 GB/T38144.1 眼面部防护 应急喷淋和洗眼设备 第1部分:技术要求 GB/T38144.2 眼面部防护 应急喷淋和洗眼设备 第2部分:使用指南 GB50016 建筑设计防火规范 GB50057 建筑物防雷设计规范 GB50058 爆炸危险环境电力装置设计规范 GB50073 洁净厂房设计规范 GB50140 建筑灭火器配置设计规范 GB50160 石油化工企业设计防火标准 GB50177 氢气站设计规范 GB50257 电气装置安装工程 爆炸和火灾危险环境电力装置施工及验收规范 GB50316 工业金属管道设计规范 GB50351 储罐区防火堤设计规范 GB50370 气体灭火系统设计规范 GB/T50493 石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准 GB50650 石油化工装置防雷设计规范 GB50974 消防给水及消火栓系统技术规范 GB51034 多晶硅工厂设计规范 1T/CCSAS052—2025 全国团体标准信息平台