(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122971571.8 (22)申请日 2021.11.30 (73)专利权人 深圳市智立方自动化设备股份有 限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区石岩街 道塘头社区厂房A栋1层至 3层 (72)发明人 黄剑锋　关巍　湛思　陈超科　 唐博识　 (74)专利代理 机构 深圳市科吉华烽知识产权事 务所(普通 合伙) 44248 专利代理师 胡吉科 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片双面检测设备 (57)摘要 本实用新型提供一种芯片双面检测设备， 属 于芯片检测结构领域。 本实用新型包括下机架、 设置下机架顶面的正面检测平台、 背面检测平 台、 料框上料组件和机械手取料组件， 所述机械 手取料组件为双臂机械手， 所述双臂机械手包括 分别用于同步正面检测和背面检测上料和下料 的两个机械手组件， 所述正面检测平台、 背面检 测平台通过双臂机械手的上下料对芯片的正面 和背面同步检测。 本实用新型的有益效果为： 不 需要翻转物料的前提下， 能够同步进行产品的正 面和背面检测。 权利要求书2页 说明书4页 附图6页 CN 217212318 U 2022.08.16 CN 217212318 U 1.一种芯片双面检测设备， 其特征在于： 包括下机架、 设置下机架顶面的正面检测平 台、 背面检测平台、 料框上料组件和机械手取料组件， 所述机械手取料组件为双臂机械手， 所述双臂机械手包括分别用于同步正面检测和背面检测上料和下料的两个机械手组件， 所 述正面检测平台、 背面检测平台通过双臂机 械手的上 下料对芯片的正 面和背面同步检测。 2.根据权利要求1所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 所述双臂机械手还包括手臂 安装板、 设置在手臂 安装板下方的控制结构， 机械手组件并列设置在手臂安装板上方， 所述 机械手组件包括手臂组件和设置在手臂末端的手指组件， 所述手指组件设有一对与 物料外 周形状相同的仿形夹指。 3.根据权利要求1所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 还包括设置在下机架上方、 用于保护工作平台的上机罩， 所述上机罩顶端设有工作状态指示结构。 4.根据权利要求3所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 还包括设置在下机架内的控 制组件， 所述上机罩外侧设有人机交 互组件， 所述人机交 互组件与控制组件相连。 5.根据权利要求1 ‑4任一项所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 所述正面检测平台 包括正面检测工作台， 设置在正面检测工作台上 的第一平面运动模组、 设置在第一平面运 动模组上方的定位台， 还包括设置在所述定位台上方的正面检测组件， 及垂 直运动模组， 所 述垂直运动模组驱动正 面检测组件或定位台垂直 运动。 6.根据权利要求5所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 还包括由所述第 一平面运动 模组驱动的安装板， 所述安装板上设有第一旋转组件， 所述定位台由所述第一旋转组件驱 动旋转， 所述垂直运动模组通过支架设置在正面检测工作台上， 驱动所述正面检测组件垂 直运动。 7.根据权利要求1 ‑4任一项所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 所述背面检测平台 包括背面检测工作台、 设置在背面检测工作台上 的二维运动模组， 设置在所述二维运动模 组上、 由所述二 维运动模组平 面驱动的固定板， 所述固定板下方设有旋转组件， 所述旋转组 件下方设有、 由所述旋转组件驱动旋转的吸附组件， 还包括Z轴运动模组， 由所述Z轴运动模 组驱动上下运动的检测组件， 所述检测组件设置在所述吸 附组件下方， 朝向所述吸 附组件 设置。 8.根据权利要求7所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 所述二维运动模组包括设置 在U型大理石平台侧面的X轴直线运动模组， 所述U 型大理石两个立柱顶 面设有X轴导轨， Y轴 直线运动模组的两端设置在两侧的X轴导轨上， 由所述X轴直线运动模组驱动沿X向导轨运 动， 所述Y轴直线运动模组包括Y轴直线电机组件及由Y轴直线电机组件驱动的两条Y轴导 轨， 所述固定板的两端分别设置在两条Y轴导轨上， 所述旋转组件通过固定板设置在所述Y 轴导轨中间。 9.根据权利要求8所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 所述X轴导轨上设有调整架， 所述调整架上设有若干组用于固定Y轴导轨的固定孔， 远离Y轴直线电机组件的Y轴导轨通 过固定孔调整与另一个Y轴导轨的宽度并固定 。 10.根据权利要求1 ‑4任一项所述的芯片双面检测设备， 其特征在于： 所述正面检测平 台、 背面检测平台、 料框上料组件在下机架上围合设置， 所述机械手取料组件分别设置在所 述正面检测平台、 背面检测平台、 料框上料组件中间， 所述料框上料组件包括沿 弧形设置的 若干个料框放置板， 所述机械手取料组件设置在弧形结构的原点位置， 所述料框放置板上权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217212318 U 2设有用于堆叠物料芯片的料框 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217212318 U 3